埋め戻し

ホールパターンや溝パターンに等方的に膜を形成して、ホール径や溝幅を小さくする時に用いる技術のこと。

カバレッジの良いCVD/ALD絶縁膜やCVD-Poly-Si膜などが埋め戻し膜として用いられる。