GAA(Gate-All-Around)方式と呼ばれるMOSトランジスタの構造の一つ。
シリコンナノシートに比べ実効ゲート幅Weffが大きく取れバラツキも小さいことから
GAA(Gate-All-Around)方式のMOSトランジスタとして実用化が進められている。
用語集Technical Words
用語集Technical Words
GAA(Gate-All-Around)方式と呼ばれるMOSトランジスタの構造の一つ。
シリコンナノシートに比べ実効ゲート幅Weffが大きく取れバラツキも小さいことから
GAA(Gate-All-Around)方式のMOSトランジスタとして実用化が進められている。