前工程

シリコンウエハ上に半導体チップ（回路）を作りこむ工程までのこと。

半導体製造工程全体の中でウエハ状態での製造工程で、基板ウエハにトランジスタを形成し絶縁膜でカバーするまでのトランジスタ製造工程群のことをいう。
Isolation(Active領域の形成), Gate, Source-Drain(拡散層の形成)などの製造工程が含まれる。