Time Zero Dielectric Breakdownの略称でタイムゼロ絶縁破壊のこと。
シリコン酸化膜に電圧を徐々に増加させながら印加し、リーク電流が発生した際の電圧を絶縁破壊電圧という。
シリコン酸化膜の信頼性評価の一手法で、破壊電界強度を超えると一瞬に破壊が進む。
用語集Technical Words
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Time Zero Dielectric Breakdownの略称でタイムゼロ絶縁破壊のこと。
シリコン酸化膜に電圧を徐々に増加させながら印加し、リーク電流が発生した際の電圧を絶縁破壊電圧という。
シリコン酸化膜の信頼性評価の一手法で、破壊電界強度を超えると一瞬に破壊が進む。