プラズマダメージモニター

プラズマ工程が与えるチャージアップ破壊（ダメージ）を測定するウエハを指す。

半導体工程の荷電粒子由来のゲート(シリコン酸化膜)破壊を測定するウエハの名前として使われている。

チャージアップモニターウエハや、Yield Security TEGと同義。