半導体の製造においては、基板ウエハ上に製作された良品チップ数の割合(良品率)を歩留まりという。
基板ウエハ上の全有効チップ数に対する良品チップ数の割合を%で表す。
DRAMなど単一製品を製造するプロセスでは、製造プロセス・製造装置が習熟してくると有効チップ領域外のチップでも良品が取れるようになり、歩留まりが100%を超えてくる場合もある。
(ただし、有効チップ領域外の良品チップが顧客に出荷されることはない。)
用語集Technical Words
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