研磨

研削後ウエハを鏡面（ミラー）に仕上げる研磨のこと。

ミラーポリッシュともいう。

スラリーと呼ばれる研磨粉とパッド（研磨布）で表面を光学的に研磨し、ポリッシュドウエハができる。