BPSG

Borophosphosilicate glassの略称でホウリンケイ酸ガラスのこと。
リン（P）とボロン（B）をドープしたシリコン酸化膜を指す。
PSGにボロンも添加して、より低温でリフローし易くした材料である。
PSG同様にトランジスタ素子と上層の配線層の間の絶縁膜として用いられた。