Philtech供給ウエハでの研究成果を広島大学新宮原助教授が発表しました
2003/12/09
イベント
次世代研究開発を強力にサポートするフィルテックのウエハ
フィルテックが供給するウエハ
200mmパタン付ウエハ
Consulting services
- SiO膜 1um
- ホールパタン 0.1um
- エッチ加工 0.8um以上
200mmパタン付ウエハ
Consulting services
- 0.1um 4端子抵抗測定可能なトレンチパタン
- 電極パッド（CMP対応）付
2003年12月8日米国で開催のIEDM国際学会にて、上記ウエハに関する技術を「スーパーフィル無電解めっき」技術として発表し、新聞報道に取り上げられました。