評価事例
（テストウエハ）Evaluation

受託加工事例

テストウエハ

2024年02月16日

石英基板へのパターン形成例

弊社ではSi基板に限らず石英基板への直接パターン形成も可能です。
下記の事例は、石英ウェハに直接レジストを塗布/現像し、パターニングしてエッチング処理をしたものです。

  • 石英基板
  • レジスト塗布
  • i 線ステッパー露光/現像
  • 石英エッチング
  • レジスト除去（アッシング）

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