評価事例
（テストウエハ）Evaluation

200mm ALデイジーチェーン評価事例

テストウエハ

2024年02月16日

弊社が有するデージーチェーンパターン(PT027)を使ってAlのデイジーチェン評価を行った事例です。
A1とB1又はA2とB2を結合させて、電気的な導通や信頼性の評価が可能です。
ALに変えてCuやSiを使うことも可能です。
SnAgバンプの代わりにNiAuバンプを使うことも可能です。

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