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2012年
研究のためのヒートビーム小型装置とフィルテックの事業目標がフジサンケイビジネスアイ新聞で報道されました。
2012/12/05/
ニュース
新潟大学が当社が作製した超音波デバイスを使いシリコン結晶の原子の孔を測定したことが、日経産業新聞に報道されました。
2012/11/06/
ニュース
当社の技術が注目されているということが日経新聞に報道されました。
2012/10/01/
ニュース
ヒートビームCVDの量産技術が日経新聞で報道されました。
2012/08/20/
ニュース
【大気雰囲気の無限連続基板に結晶膜を成長させる装置開発に成功】 詳細が8月8日に東京大学で行われたCVD反応分化会第16回シンポジュームで発表されました
2012/08/08/
ニュース
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