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2008年
300mm以上の基板を低温に維持したまま、表面を加熱または CVD処理する実験装置を作りました。デバイス作製済みシリコン基板、ガラス基板、樹脂基板に対応します。
2008/11/04/
ニュース
太陽電池を安価に製造するための部品を開発いたしました。
2008/07/26/
製品リリース
太陽電池に関連する特許出願いたしました
2008/05/22/
ニュース
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