研究実績Works

移動する基板表面を1000℃まで加熱するHeat Beam装置

小型高効率熱交換器

2024年02月13日

Heat Beam シリンダーから発射する高温ガスをガラス一定速度で移動するガラス基板に衝突させると、基板上のアモルファスSiを結晶Siに変化させます。PETフィルム上の塗布膜高温焼結ができます。

HBアニール技術　Heat Beam Annealing　For material printing　2013年2月18日Feb. 18, 2013
25℃　1second　1000℃
In-depth temperature profile
Time resolved temperature profile
表面加熱特性　Surface heating characteristics
原理応用Physics application：基盤表面を瞬間に加熱　Quick surface heating
Application応用：結晶化Crystallzation
塗布膜焼成
卓上小型HB表面アニール装置　Desktop 1200℃-HB experiment tool
卓上小型HBで可能な表面温度　Obtainable surface temperatures by desktop HB
シリンダー型HB（部品）　Cylinder-type HB emitter
HBシリンダー外観写真　Pictures of HB cylinder
加熱原理の比較　Heating physics comparison
出力N2温度と流用の関係　Output gas temperature VS N2 N2 flow rate
出力N2温度の立ち上がり時間（ヒーター制御）　Temperature rise time（by heater control）

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