小型高効率熱交換器（ヒートビームシリンダー®）Works Heat Beam

Heat Beam シリンダーから発射する高温ガスをガラス一定速度で移動するガラス基板に衝突させると、基板上のアモルファスSiを結晶Siに変化させます。PETフィルム上の塗布膜高温焼結ができます。