テストウエハWorks Testwafer

シリコンウエハの原子空孔濃度を測定するために音速を極低温で測定する試みが新潟大学でなされました。 当社はそのためのSAWデバイスを作製することを担当しました。原子空孔の相互作用のために絶対零度付近でシリコンが軟化する特異な現象が論文で紹介されました。

ウエハやチップを互いに貼り付けて、3次元集積する方向が示されました。その技術開発のために当社は必要なテストウエハを設計して製造しました。その一例をご紹介します。