お知らせNews

300mm以上の基板を低温に維持したまま、表面を加熱または CVD処理する実験装置を作りました。デバイス作製済みシリコン基板、ガラス基板、樹脂基板に対応します。

2008/11/04/

ニュース

太陽電池を安価に製造するための部品を開発いたしました。

2008/07/26/

製品リリース

太陽電池に関連する特許出願いたしました

2008/05/22/

ニュース

実デバイスに近いコンタクト孔の構造と測定方法で、チャージダメージを敏感に測定して 工程歩留まりを改善させるサービスを始めました。

2007/12/26/

製品リリース

チャージダメージを弱いものから破壊に至るまでを製造現場と同じ信頼度指標で比較できるようにワイブル分布で表現するサービスを始めました。 

2007/08/24/

製品リリース

酸化膜破壊にまでいたらせる追加のチャージ注入量で受けたダメージを評価するサービスを始めました。 わずかなダメージを検出して工程の歩留まり改善をします。

2007/08/02/

製品リリース

Comb Antenna チャージモニターの販売を始めました。

2007/06/18/

製品リリース

DRAM製造方法に関する特許出願（特開2005-260091）を審査請求しました

2007/05/15/

ニュース

CMP評価のためのCuめっき100nmトレンチ標準ウエハX2005の最新断面SEM写真を撮影しました

2006/09/13/

ニュース

研究・開発に“ストライエイションの無いエッチング技術”を追加しました

2006/08/30/

ニュース