お知らせNews

【大気雰囲気の無限連続基板に結晶膜を成長させる装置開発に成功】 詳細が８月８日に東京大学で行われたＣＶＤ反応分化会第１６回シンポジュームで発表されました

2012/08/08/

ニュース

1985年に出願された軸を傾けたシリコン基板にSiCをヘテロエピヤキシャル成長させる技術の実績を基にコンサルティングを開始しました。斜め基板の技術はLEDのヘテロ結晶成長に使用されています。

2011/09/09/

ニュース

300mm以上の基板を低温に維持したまま、表面を加熱または CVD処理する実験装置を作りました。デバイス作製済みシリコン基板、ガラス基板、樹脂基板に対応します。

2008/11/04/

ニュース

太陽電池を安価に製造するための部品を開発いたしました。

2008/07/26/

製品リリース

太陽電池に関連する特許出願いたしました

2008/05/22/

ニュース

実デバイスに近いコンタクト孔の構造と測定方法で、チャージダメージを敏感に測定して 工程歩留まりを改善させるサービスを始めました。

2007/12/26/

製品リリース

チャージダメージを弱いものから破壊に至るまでを製造現場と同じ信頼度指標で比較できるようにワイブル分布で表現するサービスを始めました。 

2007/08/24/

製品リリース

酸化膜破壊にまでいたらせる追加のチャージ注入量で受けたダメージを評価するサービスを始めました。 わずかなダメージを検出して工程の歩留まり改善をします。

2007/08/02/

製品リリース

Comb Antenna チャージモニターの販売を始めました。

2007/06/18/

製品リリース

DRAM製造方法に関する特許出願（特開2005-260091）を審査請求しました

2007/05/15/

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