評価事例/応用例Cases

「テストウエハ」の評価事例、
小型高効率熱交換器(ヒートビームシリンダー®)の応用例を掲載しています

Heat Beamシリンダーの応用例:半導体工場の排気配管詰まり防止(工場稼働率UP)

2024年02月20日

小型高効率熱交換器

半導体工場で稼働させる装置にCVD装置とエッチング装置があります。反応副生成物が配管を詰まらせ、稼働率をさげて損害を与えます。その問題を解決する応用例です。

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Heat Beamシリンダーの応用例:鶏糞からバイオマスガスを取り出す

2024年02月19日

小型高効率熱交換器

牛糞や鶏糞、魚かすは資源になる廃棄物ですが、各国ともその処理に困っており、その問題を解決できる応用例です。 市場の大きい応用例です。

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Heat Beamシリンダーの応用例:Bio-CH4と水H2OからH2を発生させる装置(オンサイト水素)

2024年02月18日

小型高効率熱交換器

バイオメタンの発生技術はあります。それから水素を作り出す技術もあります。 ヒートビームシリンダーは白金を使わずに水素を発生させる安価な装置を実現します。

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Heat Beamシリンダーの応用例:微細な穴に室温でアルミナ (Al2O3) 膜を成長

2024年02月17日

小型高効率熱交換器

塩化アルミAlCl3は2量体分子の原料です。 水も多量体の巨大分子原料です。そのままでは室温反応は起きづらいのですが、Heat Beam Cylinderで加熱して単量体にして導入すると反応します。室温で酸化アルミニュームを成長させる応用例です。

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Heat Beamシリンダーの応用例:有機物の処理(気化、滅菌、減容)

2024年02月16日

小型高効率熱交換器

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200mm ALデイジーチェーン評価事例

2024年02月16日

テストウエハ

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