・使用目的
・サイズ
・構造
などヒアリング
テストウエハTest Wafer
シリコンウエハ｜ウエハ受託加工｜TEG・MEMS試作
基板提供・成膜加工・GDS作成・パターン形成・ダイシングまで一貫対応可能です
シリコンウエハ基板提供や成膜加工などの基本工程に加え、GDS作成からのパターン設計・カスタム対応もいたします。
材料評価・プロセス評価・装置評価、搬送用・校正用・検査用など、開発・評価のテストウエハはフィルテックにお任せください。
試作・少量での対応｜技術者多数在籍｜オリジナルパターンマスク保有
～ 評価用途からのご相談も歓迎です～
テストウエハの作業フローFlow
お問い合わせ
お打ち合わせ
・Web会議にて
詳細すり合わせ
・パターンの決定
お見積～ご発注
・金額/納期の算定
製造
・データ作成
・マスク製造
・ウエハ製造
納品
・搬送方法
・納品物
タイプ一覧Type list
ベアウエハ
様々な仕様・グレードのシリコンウエハ、その他SiCやSOIなど特殊ウエハもご提供致します
膜付きウエハ
半導体膜、絶縁膜、メタル膜等各種材料・製法での成膜加工、成膜ウエハをご提供致します
チャージアップモニタ
プラズマ処理装置のチャージアップダメージ評価に使用します
カスタム設計パターンウエハ
カスタムでパターンをデザイン設計し、GDSデータ作成からウエハ受託加工を一貫して請け負います
トレンチパターンウエハ
成膜装置等のカバレッジ評価に使用します
ホールパターンウエハ
成膜装置のカバレッジ評価、メッキ等の埋め込み評価、検査装置の性能評価に使います
Poly Siパターン付きウエハ
熱酸化膜等の絶縁膜上にPolySiを成膜しパターン形成したウエハです。 パターンの寸法や位置座標の基準として使う校正用ウエハとして使われます
SADP 25nm L&S パターンウエハ
SADPプロセスを用いたL/Sパターンです。ドライエッチングの評価、成膜装置のカバレッジ評価に使用します
CMP評価ウエハ
Cu_CMP STI_CMP等CMP装置評価、スラリー評価に使用します
実装評価ウエハ
パッケージ材料の評価に用いるアルミデイジーチェーンパターン、TSVパターン等をご提供致します
特殊基板加工ウエハ
透明基板評価が必要な設備 絶縁性が必要な基板等の評価に使います
MEMS加工ウエハ
数um～数百umのシリコン加工要求をMEMS技術を用いて処理を請負致します
