コラム／研究実績Blog

ウエハやチップを互いに貼り付けて、3次元集積する方向が示されました。その技術開発のために当社は必要なテストウエハを設計して製造しました。その一例をご紹介します。

Heat Beam シリンダーから発射する高温ガスをガラス一定速度で移動するガラス基板に衝突させると、基板上のアモルファスSiを結晶Siに変化させます。PETフィルム上の塗布膜高温焼結ができます。

第1章　難解な「真実」を簡単に説明する「表現」