コラム／研究実績Blog

真実と表現の関係例３

真実と表現の関係例２

第1章　難解な「真実」を簡単に説明する「表現」

シリコンウエハの原子空孔濃度を測定するために音速を極低温で測定する試みが新潟大学でなされました。 当社はそのためのSAWデバイスを作製することを担当しました。原子空孔の相互作用のために絶対零度付近でシリコンが軟化する特異な現象が論文で紹介されました。

＜211＞方向に4℃傾けたSi(111)基板上に3C-SiCをヘテロエピタキシャル成長させることに1985年に成功しました。斜め基板に結晶成長させるこの技術はGaNやSiC材料を使う大電力デバイスの製品化に貢献しました。

0.15um立方のSiパウダーの上に近接高周波に共振するアンテナを作ることを試みました。 高周波共振パウダーを塗料などに混ぜて使うと異なる周波数共振の塗料ができます。 これをID塗料として使用する応用を考えました。